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              • 聯(lián)系人 : 張經(jīng)理
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              產(chǎn)品詳情
              • 產(chǎn)品名稱(chēng):分子束外延系統(tǒng)

              • 產(chǎn)品型號(hào):
              • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
              • 產(chǎn)品文檔:
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              簡(jiǎn)單介紹:
              分子束外延系統(tǒng)技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是:使用的襯底溫度低,膜層生長(zhǎng)速率慢,束流強(qiáng)度易于準(zhǔn)確控制,膜層組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。使用分子束外延系統(tǒng)已能制備薄到幾十個(gè)原子層的單晶薄膜,以及交替生長(zhǎng)不同組分、不同摻雜的薄膜而形成的超薄層量子阱微結(jié)構(gòu)材料。
              詳情介紹:

              分子束外延系統(tǒng)的英文縮寫(xiě)為MBE,這是一種在晶體基片上生長(zhǎng)高質(zhì)量的晶體薄膜的新技術(shù)。分子束外延系統(tǒng)在超高真空條件下,由裝有各種所需組分的爐子加熱而產(chǎn)生的蒸氣,經(jīng)小孔準(zhǔn)直后形成的分子束或原子束,直接噴射到適當(dāng)溫度的單晶基片上,同時(shí)控制分子束對(duì)襯底掃描,就可使分子或原子按晶體排列一層層地“長(zhǎng)”在基片上形成薄膜。

              分子束外延系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì):

              (1)分子束外延系統(tǒng)MBE是一個(gè)超高真空的物理沉積過(guò)程,既不需要考慮中間化學(xué)反應(yīng),又不受質(zhì)量傳輸?shù)挠绊懀⑶依每扉T(mén)可以對(duì)生長(zhǎng)和中斷進(jìn)行瞬時(shí)控制。因此,膜的組分和摻雜濃度可隨源的變化而迅速調(diào)整。

              (2)生長(zhǎng)速率極慢,大約1um/小時(shí),相當(dāng)于每秒生長(zhǎng)一個(gè)單原子層,因此有利于實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控制厚度、結(jié)構(gòu)與成分和形成陡峭的異質(zhì)結(jié)構(gòu)等。實(shí)際上是一種原子級(jí)的加工技術(shù),因此MBE特別適于生長(zhǎng)超晶格材料。

              (3)外延生長(zhǎng)的溫度低,因此降低了界面上熱膨脹引入的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對(duì)外延層的自摻雜擴(kuò)散影響。

              (4)由于生長(zhǎng)是在超高真空中進(jìn)行的,襯底表面經(jīng)過(guò)處理可成為完全清潔的,在外延過(guò)程中可避免沾污,因而能生長(zhǎng)出質(zhì)量極好的外延層。在分子束外延系統(tǒng)裝置中,一般還附有用以檢測(cè)表面結(jié)構(gòu)、成分和真空殘余氣體的儀器,可以隨時(shí)監(jiān)控外延層的成分和結(jié)構(gòu)的完整性,有利于科學(xué)研究.

              (5)分子束外延系統(tǒng)MBE是一個(gè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程,即將入射的中性粒子(原子或分子)一個(gè)一個(gè)地堆積在襯底上進(jìn)行生長(zhǎng),而不是一個(gè)熱力學(xué)過(guò)程,所以它可以生長(zhǎng)按照普通熱平衡生長(zhǎng)方法難以生長(zhǎng)的薄膜。



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